一种冷却水循环系统的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型涉及水循环技术领域，尤其是一种冷却水循环系统。
【背景技术】
[0002]在半导体处理工厂内，光刻机内部需保持精确的恒温状态，它是通过冷却水的空调系统来实现的。现有的冷却水循环系统主要包括进水阀、流量计、过滤器和出水阀等组成，整套管路中任何一个环节出现漏水，都会触发空调内部的漏水检知继电器，从而切断空调电源，使空调停止工作，但是漏水点可能会继续漏水，若发现不及时，随着积水越来越多，空调内部诸如压缩机、变压器等重要元器件将受到损坏，设备安全性得不到保障，造成巨大损失。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是:为了克服上述缺陷，本实用新型提供一种能够有效防止系统内部漏水、避免损失及提高安全性的冷却水循环系统。
[0004]本实用新型解决其技术问题所要采用的技术方案是:一种冷却水循环系统，用于对光刻机内部的冷却系统提供循环冷却水，包括进水阀、管接在进水阀一端的流量计、管接在流量计另一端的过滤器和管接在过滤器另一端的出水阀，还包括电磁阀，所述电磁阀管接在所述进水阀的另一端。
[0005]进一步地，该系统还包括与电磁阀电连接的漏水检知继电器，当系统的管道中任何一处发生漏水都会触发漏水检知继电器，从而切断电磁阀的电源。
[0006]进一步地，该系统还包括旁通阀，所述旁通阀的一端管接在电磁阀的出水口，旁通阀的另一端管接在出水阀的出水口。
[0007]进一步地，所述过滤器和出水阀之间还管接有泄压阀，所述泄压阀可释放管道压力，便于更换过滤器。
[0008]本实用新型的有益效果是:本实用新型提供的一种冷却水循环系统，工作时，冷却水依次经过电磁阀、进水阀、流量计、过滤器、泄压阀和出水阀，形成整个冷却水循环，当该系统中任何一处发生漏水时，便触发漏水检知继电器，进而关闭电磁阀，切断系统的水源。本实用新型的冷却水循环系统在发生漏水时，能够有效及时的切断水源，避免漏水越积越多，进而损坏设备情况的发生，大大提高了设备的安全性。
【附图说明】
[0009]下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
[0010]图1是本实用新型的一种冷却水的循环系统的实施例一中的结构示意图；
[0011]图2是本实用新型的一种冷却水的循环系统的实施例二中的结构示意图。
[0012]图中:1、进水阀，2、流量计，3、过滤器，4、出水阀，5、电磁阀，6、旁通阀，7、漏水检知继电器，8、泄压阀。
【具体实施方式】
[0013]现在结合附图对本实用新型作详细的说明。此图为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
[0014]实施例一
[0015]请参照图1所示，本实用新型的一种冷却水的循环系统，用于对光刻机内部的冷却系统提供循环冷却水，包括进水阀1、管接在进水阀i 一端的流量计2、管接在流量计2另一端的过滤器3和管接在过滤器3另一端的出水阀4，还包括电磁阀5，所述电磁阀5管接在所述进水阀i的另一端。
[0016]该系统还包括与电磁阀5电连接的漏水检知继电器7，当系统的管道中任何一处发生漏水都会触发漏水检知继电器7，从而关闭电磁阀5的电源，切断水源。
[0017]下面结合图1说明本实用新型的一种冷却水的循环系统的工作过程:当该系统中没有发生漏水情况时，电磁阀5、进水阀i和出水阀4为常开状态，此时，冷却水依次通过电磁阀5、进水阀1、流量计2、过滤器3和出水阀4，最终到达空调的冷却系统，形成该系统的水循环过程；当该系统中的任何一处发生漏水时，此时漏水检知继电器便会被触发，关闭电磁阀5的电源，进而切断进入该系统中的水源，保证设备不被漏水破坏。当过滤器3发生故障需要更换，又不能停止设备运行的时候，此时旁通阀6开启，进水阀i关闭，冷却水从旁通阀6进入空调的冷却系统。
[0018]实施例二
[0019]请参照图2所示，本实施例与实施例一的主要区别就在于，为了释放管道压力，便于更换过滤器3，所述过滤器3和出水阀4之间还管接有泄压阀8，具体的，通过泄压阀8释放管道内的压力，从而更换过滤器3。
[0020]该系统还包括旁通阀6，所述旁通阀6的一端管接在电磁阀5的出水口，旁通阀6的另一端管接在出水阀4的出水口。当过滤器3发生故障需要更换，又不能停止设备运行的时候，此时旁通阀6开启，进水阀i关闭，冷却水从旁通阀6进入空调的冷却系统。
[0021]根据上述工作过程，本实用新型的一种冷却水循环系统，在发生漏水时，能够有效及时的切断水源，避免漏水越积越多，进而损坏设备情况的发生，大大提高了设备的安全性。
[0022]以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关的工作人员完全可以在不偏离本实用新型的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
【主权项】
1.一种冷却水循环系统，用于对光刻机内部的冷却系统提供循环冷却水，包括进水阀(i)、管接在进水阀(i) 一端的流量计(2)、管接在流量计(2)另一端的过滤器(3)和管接在过滤器(3)另一端的出水阀(4)，其特征在于:还包括电磁阀(5)，所述电磁阀(5)管接在所述进水阀(i)的另一端。2.如权利要求1所述的一种冷却水循环系统，其特征在于:该系统还包括与电磁阀(5)电连接的漏水检知继电器(7)，当系统的管道中任何一处发生漏水都会触发漏水检知继电器(7)，从而切断电磁阀(5)的电源。3.如权利要求2所述的一种冷却水循环系统，其特征在于:该系统还包括旁通阀(6)，所述旁通阀(6)的一端管接在电磁阀(5)的出水口，旁通阀(6)的另一端管接在出水阀(4)的出水口。4.如权利要求3所述的一种冷却水循环系统，其特征在于:所述过滤器(3)和出水阀(4)之间还管接有泄压阀(8)，所述泄压阀(8)可释放管道压力，便于更换过滤器(3)。
【专利摘要】本实用新型提供一种冷却水循环系统，用于对光刻机内部的冷却系统提供循环冷却水，包括进水阀、管接在进水阀一端的流量计、管接在流量计另一端的过滤器和管接在过滤器另一端的出水阀，还包括电磁阀，所述电磁阀管接在所述进水阀的另一端。本实用新型的冷却水循环系统正常工作时，冷却水依次经过电磁阀、进水阀、流量计、过滤器、泄压阀和出水阀，形成整个冷却水循环，当该系统中任何一处发生漏水时，便触发漏水检知继电器，进而关闭电磁阀，切断系统的水源，该系统能够有效及时的切断水源，避免漏水越积越多，进而损坏设备情况的发生，大大提高了设备的安全性。
【ipc分类】g03f7/20
【公开号】cn205247061
【申请号】cn201521099531
【发明人】徐惠懂
【申请人】苏州同冠微电子有限公司
【公开日】2016年5月18日
【申请日】2015年12月24日