微观装置的制造及其处理技术-ag尊龙凯时

本公开的实施例涉及用于热膜负载(thermal membrane load)的mems(微机电系统)器件，诸如具有应力解耦结构(例如，弹簧结构)的mems器件。特别地，实施例涉及一种用于将热致压缩应力转换为弹簧结构的局部弹簧位移的装置。、膜结构用于很多设备中，例如，这些设备需要测量可偏转结...

本技术涉表压传感器，具体为一种分立式封装结构的表压传感器。、mems压力传感器是一种薄膜元件，受到压力时变形。mems压力传感器在封装时，一般将mems芯片和asic芯片整体封装，再填充防护胶，然而为了保证mems压力传感器的性能，则需要考虑mems芯片和asic芯片之间的安全间隔距离，同...

本技术涉及传感器技工，更为具体地，涉及一种传感器封装结构及电子设备。、随着社会的进步和技术的发展，近年来，手机、笔记本电脑等电子产品体积不断减小，人们对这些便携电子产品的性能要求也越来越高，从而也要求与之配套的电子零件的体积不断减小、性能和一致性不断提高。mems(micro-electr...

、mems(“微机电系统”)是一类使用类似半导体的工艺制造并表现出机械特性的器件。例如，mems器件可以包括移动或变形的能力。在许多情况下，但并非总是如此，mems与电信号交互。mems器件可以指代被实现为微机电系统的半导体器件。mems器件包括机械元件，并且可以可选地包括电子器件(例如，...

本发明涉及柔性传感器制造，尤其是涉及一种柔性曲面眼压监测传感器的制备方法。、青光眼是全球首位不可逆致盲性眼病。青光眼指的是由于眼睛内压力升高，损害视神经而导致视野狭窄甚至失明的一组疾病。眼压是指眼球内容物作用于眼球壁及内容物之间相互作用的压力，正常眼压范围为mmhg-mmhg。对于眼压异常...

本公开涉及包括平移屏蔽结构的mems(微机电系统)光学遮蔽件。、众所周知，如今手机均配备了改进的相机模块，这保证了目前与专业相机相当的性能水平。这样的模块包括逐渐变大并具有逐渐变高性能的传感器；然而，众所周知，只有少数人生就是博尊龙ag旗舰厅的解决方案才能实现专业相机的典型特性：可变光学孔径。、例如，us/描述了m...

本发明涉及工业自动化，具体是多力学量mems传感器阵列封装结构及设计方法。、多力学量(如接触压力、扭矩和触觉等)传感器是实现机器人、工业自动化前端感知的核心器件，对微型手术机器人的精准力操作、自动打磨机器人的多维力控制等机械手智能化应用领域至关重要。传统多维力传感器存在体积大、集成度差等缺...

本发明涉及纳米结构制造，具体涉及一种各向异性固态纳米孔的制备方法及其纳米片和应用。、固态纳米孔因其稳定性高、机械性能好、尺寸可调，在dna测序、蛋白质检测、能量转换、水净化等方面具有广阔的应用前景。调节固态纳米孔的尺寸和形状对调控纳米孔性质、拓宽应用范围尤为重要。自年li等人(nature...

本发明属于微纳制造领域，尤其是一种微纳结构加工方法。、高质量微纳结构是光电信息、微机电系统、量子科技、生命科学、功能表面与新材料等高核心元器件的重要组成部分，直接决定了产品功能与性能，其高效率加工一直以来都是先进制造领域的热点问题。微纳结构可以通过机械、能量束、电学、化学等多种加工...

本发明涉及一种cmos mems双模态气体压力传感器及制作方法，具体涉及一种cmos mems双模态气体压力传感器及其制作方法，属于传感器领域。、气体压力是一个重要的物理量，在各个研究领域被广泛测量。微压力传感器大多采用mems技术制造，以电信号的形式对信息进行感知、测量和传输。通过使用压...

本发明涉及微机电(micro electro mechanical system)装置与用以制造其的方法，且特别是涉及具有波纹图案的微机电装置与用以制造其的方法。、微机电元件是一种结合电子技术与机械工程制作而成的微型元件，通常可包含感测、处理及/或致动等功能。微机电元件已广泛地应用于消费性...

本发明涉及相对于转动轴驱动可动部的驱动元件。、已知有相对于转动轴驱动可动部的驱动元件。在这种驱动元件中，例如，在可动部配置反射镜。由此，能够使入射到反射镜的射束伴随着反射镜的驱动而进行扫描。即，在该结构中，由驱动元件和反射镜构成光偏转器。、在以下的专利文献中记载了音叉形的驱动元件。在相对于...

本公开涉及气密封装元件以及元件模块。、通过微细加工技术将传感器、致动器等集成化于硅基板等之上的器件亦即微机电系统(mems：micro electro mechanical systems)器件正在实用化。作为mems器件的例子，可列举红外线传感器、陀螺仪传感器以及加速度传感器等。、红外线...

本发明涉及au纳米颗粒修饰zno/sno异质结的纳米复合材料制备技术，还涉及该纳米复合材料在氨气气体传感检测的应用，属于半导体金属氧化物气体传感器。、近年来，随着现代社会经济的快速发展，伴随产生的各种有害气体严重影响着人们赖以生存的环境，工业、农作物栽培、牲畜饲养、建筑施工、室内装饰等过程...

本发明涉及神经电极，具体为一种神经电极组件及其制备方法。、目前植入式神经电极主要有以硬质硅材料作为基础的微针电极或阵列(mea电极)，如密西根电极、犹他电极等；以及以柔性聚合物，如聚二甲基硅氧烷(pdms)、聚酰亚胺(pi)、聚对二甲苯(parylene)为衬底材料的平面型电极阵列(eco...

本发明涉及一种尤其适用于制造具有改进的电容和esr的电解电容器的改进的分散体。、导电聚合物广泛地用于固体电解质电容器中。使用由分散体形成的导电聚合物制造了高电压和高可靠性电容器，其中固体聚合物颗粒分布在液相溶剂中。分散体的制备，尤其是用于制造电解电容器的分散体的制备是已知的。本领域的重点主...

本技术涉及加工纳米孔芯片阵列制备的，特别是涉及一种加工纳米孔芯片阵列的制备装置。、基因是遗传的基本单元，是产生一条多肽链或功能rna所必需的特定核苷酸序列；基因支持着生命的基本构造和性能，储存着生命的种族、血型、孕育、生长、凋亡等过程的全部信息，是决定生命健康的内在因素；因此基因测序技术被...

本申请涉及电子产品，更具体地，涉及一种电子器件及电子设备。、随着科学技术的发展，各类电子产品逐渐走进千家万户成为人们的生活必需品。其中，许多电子产品中都会包含膜体结构；例如设置在微机电麦克风中的振膜，以及设置在压力感测传感器中的膜片等。、这些膜体结构一般厚度较薄、较为脆弱，当受到气流冲击、...

本发明涉及纳米材料相关，更加具体来说，本发明涉及一种纳米级湿法材料的制备方法及制备系统。、在现有技术中，随着纳米材料科学的发展，在生物、化学、半导体、化妆品、电子、新能源、国防军工等各行业中，为最大限度地发掘材料的极限理化性能，经常需要对材料进行高细度、纳米级的分散或研磨以及除泡。纳米级湿...

本发明涉及封装，尤其涉及一种晶圆级封装结构及封装方法。、微机电系统(micro electro mechanical system,mems)是通过半导体工艺和微纳加工技术在硅或其他介质晶圆上形成微机械元件并最终与信号处理电路集成于一体的统称。由于mems器件具有可动结构易受组装工艺和实际...