微观装置的制造及其处理技术-ag尊龙凯时

.本实用新型涉及半导体，尤其涉及一种半导体封装结构。.微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem)，是指采用微机械加工技术和半导体电子加工技术制造的组合类系统。mems技术当前主要用于传感器制造，比如mems加速度计、mems陀螺仪、mems麦克风或...

.本发明属于微纳加工领域与滤膜领域，具体涉及一种微纳复合滤膜及其制备方法和应用。.在生物医学、空气净化和水处理等领域中，对烟尘(.-.μm)、病毒(.-.μm)和细胞外囊泡(.-.μm，其中外泌体为.-.μm)等亚微米尺寸的目标物分离有广泛的应用需求。现有的纳米孔滤膜主要由高分子材料通过化...

.本发明涉及一种微机械结构和微机械传感器。.由现有技术已知微机械结构和微机械传感器。例如由文献dea已知一种微机械传感器，在该微机械传感器中借助于第一探测机构可以确定振动质量沿第一方向的平移偏转并且借助于第二探测机构可以确定绕平行于振动质量的第二方向的旋转轴线的旋转偏转，其中由此...

.本发明的实施例涉及微机电系统封装件及其形成方法。.微机电系统(mems)器件是集成机械和电组件以感测物理量和/或作用于周围环境的微观器件。近年来，mems器件已经变得越来越普遍。例如，mems加速度计通常用于安全气囊部署系统、平板电脑和智能手机等设备中。发明内容.根据本发明的实施例，提供...

mems致动器、流量调节器和扬声器.本公开涉及一种mems致动器、流量调节器和扬声器。尤其，参考使用mems(微机电系统)技术制造的压电致动器，例如液体流量控制阀、用于扬声器的微弹簧、微镜、诸如微镊子或微剪刀之类的微工具。.如已知的，mems致动器是通常由半导体材料(例如硅)的晶片...

.本发明涉及压力传感器加工，更具体地说，本发明涉及一种自动定位的进气温度压力传感器加工用全自动键合机。.键合机是指将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理，在一定条件下直接结合，通过范德华力、分子力甚至原子力使晶片键合成为一体的设备，全自动引线键合机是以...

一种微机电系统结构及其制作方法.本发明涉及集成式传感器，尤其涉及一种对cmos(complementarymetaloxidesemiconductor，即互补金属氧化物半导体)电路具有保护作用的微机电系统结构及其制作方法。.微机电系统在国民经济和军事系统方面...

.本申请属于微机电系统装置，具体地，涉及一种微机电系统装置的制造方法、微机电系统装置和电子设备。.微机电系统(mems,micro-electro-mechanicalsystem)，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。.在微机电系统装置的...

.本公开涉及微机电系统mems传感器，更具体地，涉及一种微机电系统传感器的制造方法、微机电系统传感器及电子设备。.微机电系统(mems,micro-electro-mechanicalsystem)也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等。微机电系统结构一般在微米甚至纳米量级。微机...

.本公开涉及微机电系统换能器，以及更具体地，涉及一种静电微机电系统换能器、其制造方法及电子设备。.静电微机电系统换能器例如可以包括麦克风、压力传感器、惯性传感器、微镜、扫描仪、开关/继电器等。静电微机电系统换能器通常包括可以相对移动的两个电极以及位于两个电极之间的电介质层。电介质层...

.本发明属于机械超材料，特别涉及一种梯度化热膨胀可调渐变管。.可控热膨胀结构因其在航空航天、精密仪器、热敏传感、自动控制等方面的急切需求：精确控制结构等效热膨胀系数在大范围内精确变化正逐渐成为国内外力学工作者的研究热点；在航空航天等领域，由于环境温度随时间变化幅度大，且随空间坐标变...

一种mems传感器的制作方法及其mems传感器.本申请属于传感器，具体地，本申请涉及一种mems传感器的制作方法及其mems传感器。.微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem，mems)传感器是基于mems技术制造的声电换能器，其具有体积小...

高填孔比五层埋容mems封装载板及其制作工艺.本发明涉及mems封装载板，具体涉及一种高填孔比五层埋容mems封装载板及其制作工艺。.随着物联网建设使得mems传感器开始广泛受到业界的关注。在良好的市场驱动和政策环境作用下，mems传感器市场规模进一步扩大。不断涌现的新产品以及新应...

.本发明涉及耐高温传感器，具体涉及传感器的无引线封装结构及方法。.耐高温传感器在诸多行业和领域都有非常重要的应用，比如航空发动机内部高温压力和振动检测用的耐高温压力和振动传感器、核电站高温反应堆一回路压力测量的耐高温压力传感器，以及用于高温工业反应釜和冶炼塔运行安全监测的高温压力和振动传感...

：.本发明涉及纳米材料制备，具体涉及一种制备有序硅纳米线阵列的方法。.国内外常用的制备硅纳米线的方法有激光烧蚀法，热蒸发法、化学气相沉积法和化学湿法刻蚀法。.(一)激光烧蚀法是利用高能激光烧蚀材料表面，使其快速熔化蒸发，随后冷却结晶，实现材料沿某一方向生长的一种方法。该方法制备温度...

一种压阻式角度反馈传感器moems微镜制备方法.：本发明涉及微光机电，具体地说就是一种集成压阻式角度反馈传感器的静电驱动moems微镜制备方法。.：moems微镜是利用微纳加工技术将微型光学镜面与mems执行器进行集成制造，形成高动态光学元件，可实现光束在空间中的快速操控，...

一种moems微镜的制备方法.：本发明涉及微光机电，具体地说就是一种moems微镜的制备方法。.：moems微镜是集成制造的微型光学元件和mems执行器，通过控制moems微镜偏转可以实现光束扫描、指向等，在激光雷达、光通信、投影显示、医疗成像等应用中具有巨大市场前景。.m...

.本发明属于微光机电系统（moems）领域，具体是一种微光机电系统制备方法。.微光机电系统（moems）是近些年在微机电系统（mems）中发展起来的一支极具活力的新技术系统，它是由微光学、微电子、微机械相结合而产生的一种新型的微光学结构系统。微光机电系统是一种可控的微光学系统，该系统中的微...

.本发明属于微光机电系统（moems）领域，具体是一种异构集成的芯片级光谱调谐微系统。.微光机电系统（moems）是近些年在微机电系统（mems）中发展起来的一支极具活力的新技术系统，它是由微光学、微电子、微机械相结合而产生的一种新型的微光学结构系统。微光机电系统是一种可控的微光学系统，该...

.本发明涉及一种传感器和用于制造传感器的半导体管芯。.现代传感器被越来越多地基于半导体管芯制造。在成熟的半导体工艺技术的帮助下，许多功能单元通过加工半导体晶片而被共同制造，其中加工后的半导体晶片然后被分成多个半导体管芯，这些半导体管芯构成各个传感器的基础。.通常应利用传感器同时测量加速度和...